圧力計測でお困りごとはございませんか
当社圧力センサ素子がお役立ちできることを探しています

圧力センサ素子の特長

• 長年安定した感度で測定ができます
  感度の長期安定性 0.01% /年 以下
• わずかな圧力変化でさえも正確に測定できます
  7桁～8桁に及ぶワイドレンジ測定
• 高圧でも精度よく測定できます
  70MPaの圧力まで計測可能
  (センサチップは200MPaまで)

これらの特長は右図の動作原理で実現されています。

圧力センサ素子の動作原理
単結晶シリコンでできた振動子の共振周波数の変化
からセンサに加えられた圧力を計測する方式です。
振動子に高圧がかかっても破壊されないよう工夫しています。

南海トラフ海底地震津波観測網
提供元：国立研究開発法人防災科学技術研究所

左図観測網搭載に向け
共同開発した水圧計

想定されるアプリケーション事例

• 高精度な微小流量の計測
  先端半導体製造装置
• 長期間変化の監視
  ダム水深度モニタ、地殻変動調査
• 微気圧の監視
  火山噴火監視、宇宙居住空間の室圧モニタ
• その他ミッションクリティカルな領域での圧力計測

圧力計測でのお困りごとを解決します

• 当社エンジニアがご要望をお伺いします
  差圧/ゲージ圧/絶対圧、 圧力レンジ、サイズ等のご要求をお聞かせください。
• その要望に合う圧力計モジュールを開発します
  開発に一定の期間を要しますので、提供時期等について相談させて頂きます。
• 共同での設計/開発を進めることもできます
  共同開発中にプロトタイプ機をお渡しし、性能をご確認頂くこともできます。